武汉离子氮化炉电话,丰热科技有限公司
发布:2020-07-17 04:00,更新:2010-01-01 00:00
湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),专业制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
具有高能量的氮离子轰击工件表面,由动能转化为热能加热工件,同时氮离子吸取电子还原成原子被工件表面吸收并向内层扩散。辉光放电时,在两个电极附近聚集了较多的异号空间电荷,因而形成明显的电位降落,分别称为阴极压降和阳极压降。离子轰击工件表面还产生阴极溅射,溅射出铁离子与氮离子化合形成氮化铁FeN,FeN重新附着在工件表面,然后分解为Fe2N和Fe3N并放出氮原子向工件内扩散
利用稀薄气体的辉光放电现象加热工件表面和电离化学热处理介质,使之实现在金属表面渗入欲渗元素的工艺称为辉光放电离子化学热处理,简称离子化学热处理。因为在主要工作空间内是等离子体,故又称等离子化学热处理。
?选用正弦波中频靶电源,由于波形的原因,靶面产生打弧的几率更低并优于双极性矩形波中频靶电源。在放电开始前间隙中必须存在大量的种子电子,而长寿命的亚稳态及其彭宁电离可以提供这些种子电子。更适合于对薄膜表面和膜层质量要求较高的溅射工艺。??一般来说,射频辉光放电与直流及中频交流脉冲辉光放电相比,可以在低一个数量级的气体压强状态下进行(例如,1.0×1-2Pa)。??
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